气体质量流量单位一般以sccm（StandardCubicCentimeterperMinute,每分钟标准毫升）和slm（StandardLiterperMinute,每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为：气压—101325Pa(760mmHg);温度—0℃(273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min之处。

  对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min）,这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数,可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。

  需要注意的是,现在质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位,不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位（Kg/min）,但是它符合半导体协会制定的SEMI国际标准。